Systèmes intelligents pour la fabrication de semi-conducteurs

L’intégration de systèmes intelligents dans la fabrication offre la possibilité de transformer de nombreuses industries. Lam Research, membre fondateur du consortium MIT.nano et membre de longue date du Microsystems Technology Lab (MTL) Microsystems Industrial Group, a exploré les défis et les opportunités que les systèmes intelligents apportent à l’industrie des semi-conducteurs lors de son symposium technique annuel, tenu au MIT en octobre.

Co-organisé par MIT.nano et le MTL, l’événement de deux jours a réuni le personnel technique mondial de Lam, des collaborateurs universitaires et des chefs de file de l’industrie ainsi que des professeurs, des étudiants et des chercheurs du MIT pour se concentrer sur les logiciels et le matériel nécessaires à la fabrication intelligente et aux contrôles de processus.

Tim Archer, président et chef de la direction de Lam Research, a donné le coup d’envoi de la première journée, soulignant que  » l’industrie des semi-conducteurs a plus d’impact sur la vie des gens que jamais auparavant « .

« Nous nous trouvons à un point d’inflexion de l’innovation où les systèmes intelligents transformeront notre façon de travailler et de vivre « , déclare Rick Gottscho, vice-président directeur et chef de la technologie chez Lam Research. « L’événement nous inspire à rendre l’impossible possible, en nous renseignant sur les possibilités de recherche passionnantes qui stimulent l’innovation, en favorisant la collaboration entre l’industrie et le milieu universitaire pour découvrir ensemble les meilleures solutions de leur catégorie, et en faisant participer les chercheurs et les étudiants de notre industrie. Pour que nous puissions tous saisir les opportunités des systèmes intelligents, nous devons relever les défis, perturber les conventions et collaborer. »

Des conférenciers du MIT et de Lam Research, ainsi que de l’Université de Californie à Berkeley, de l’Université Tsinghua à Beijing, de l’Université Stanford, de Winbond Electronics Corporation, de Harting Technology Group et de GlobalFoundries, entre autres, ont participé à ce symposium. Des professeurs, des dirigeants d’entreprise et des étudiants du MIT se sont réunis pour discuter de l’apprentissage machine, de la micro et nanofabrication, des grandes données – et de la façon dont tout cela est lié à l’industrie des semi-conducteurs.

« La façon la plus efficace d’apporter des solutions innovantes et durables est de combiner nos compétences avec celles des autres, en travaillant ici sur le campus du MIT et au-delà « , déclare Vladimir Bulović, directeur de la faculté de MIT.nano et de la chaire Fariborz Maseeh sur les technologies émergentes. « La force de cet événement n’était pas seulement le fantastique mélange d’expertise et de perspectives organisé par Lam et le MIT, mais aussi la variété des opportunités de réseautage et de connexion qu’il a créées.

Tung-Yi Chan, président de Winbond Electronics, une société spécialisée dans les circuits intégrés à mémoire intégrée, a ouvert la voie dès le premier jour avec son discours d’ouverture, « Soyez un  » champion caché  » dans l’industrie en évolution rapide des semi-conducteurs ». Le discours-programme de la deuxième journée, prononcé par Ron Sampson, vice-président principal et directeur général de l’US Fab Operations chez GlobalFoundries, a poursuivi sur sa lancée, abordant le concept selon lequel la fabrication intelligente est essentielle pour l’avenir des semi-conducteurs.

« Nous sommes tous émerveillés par les capacités apparemment surhumaines que les systèmes d’intelligence artificielle ont récemment démontrées dans les domaines de la classification des images, du traitement du langage naturel et de la navigation autonome « , déclare Jesús del Alamo, professeur en génie électrique et informatique et ancien directeur de la faculté MTL. « Le symposium a discuté du potentiel des outils intelligents pour transformer la fabrication des semi-conducteurs. C’est un sujet formidable à explorer en collaboration entre les fabricants d’équipements semi-conducteurs et les universités. »

Une série de conférences plénières ont eu lieu au cours du symposium :

• « Renseignement sur l’équipement : Réalité ou fiction  » – Rick Gottscho, vice-président directeur et chef de la technologie chez Lam Research
• « Apprentissage machine pour la fabrication : Opportunités et défis  » – Duane Boning, titulaire de la chaire Clarence J. LeBel en génie électrique au MIT
• « Ali Mesbah, professeur adjoint de génie chimique et biomoléculaire à l’Université de Californie à Berkeley (Californie).
• « Informatique reconfigurable et puces IA » – Shouyi Yin, professeur et directeur adjoint de l’Institut de microélectronique de l’Université de Tsinghua
• « La loi de Moore rencontre l’industrie 4.0 » – Costas Spanos, professeur à UC Berkeley
• « Jeffrey H. Lang, professeur de vitesse en génie électrique au MIT, et Vivek R. Dave, directeur de la technologie chez Harting, Inc. of North America.
• « Brian Anthony, directeur associé de MIT.nano et chercheur scientifique principal à l’Institute of Medical Engineering and Sciences (IMES) et au Department of Mechanical Engineering du MIT.

Les deux journées comprenaient également des tables rondes. Le premier présentait des leaders dans le développement mondial de semi-conducteurs plus intelligents : Tim Archer de Lam Research ; Anantha Chandrakasan du MIT ; Tung-Yi Chan de Winbond ; Ron Sampson de GlobalFoundries ; et Shaojun Wei de Tsinghua University. La deuxième table ronde a réuni des membres du corps professoral pour parler du passage à des systèmes intelligents : Anette « Peko » Hosoi du MIT ; Krishna Saraswat de l’Université de Stanford ; Huaqiang Wu de l’Université Tsinghua ; et Costas Spanos de UC Berkeley.

Chaque journée du symposium s’est terminée par des occasions pour les jeunes entreprises et les étudiants d’interagir avec des chefs de file de l’industrie et du milieu universitaire. Onze entreprises ont participé à une séance de lancement à la fin de la première journée, dont neuf sont associées au MIT Startup Exchange – un programme qui favorise la collaboration entre les entreprises en démarrage liées au MIT et l’industrie. Secure AI Labs, dont le travail vise à faciliter le partage des données tout en préservant la confidentialité des données, a été désigné gagnant par un panel de six investisseurs en capital-risque. Le démarrage de l’entreprise a reçu un placement de billets convertibles fourni par Lam Capital. HyperLight, une startup de la photonique silicium, et Southie Autonomy, une startup de la robotique, ont reçu des mentions honorables, arrivant respectivement en deuxième et troisième position.

La deuxième journée s’est terminée par une séance d’affiches pour les élèves. Des étudiants diplômés du MIT et de l’Université de Tsinghua ont présenté des exposés de 90 secondes sur leurs recherches de pointe dans les domaines des matériaux et des dispositifs, de la fabrication et du traitement, de l’apprentissage machine et de la modélisation. Le vainqueur de la séance de présentation de la foudre a été Christian Lau du MIT pour son travail sur un microprocesseur moderne construit à partir de transistors complémentaires à nanotubes de carbone.

Le Lam Research Technical Symposium a lieu chaque année et se déroule à tour de rôle entre des collaborateurs universitaires, le MIT, l’Université de Stanford, l’Université Tsinghua, l’Université de Berkeley et le siège de Lam à Fremont, en Californie. Le symposium 2020 se tiendra à l’UC Berkeley l’automne prochain.